تعد تكنولوجيا قياس الفراغ عنصرًا حاسمًا في علوم وتكنولوجيا الفراغ، مع زيادة الطلب في كل من القطاعين الدفاعي والمدني. من المهم بشكل خاص قياس ضغط الفراغ بدقة. تستخدم مقاييس الفراغ على نطاق واسع في التصنيع الصناعي، ومعدات أشباه الموصلات، والصناعة النووية، وغيرها من المجالات. تشمل الشركات المصنعة لأجهزة قياس التفريغ المشهورة عالميًا شركة MKS Instruments وINFICON. هناك نوعان شائعان من أجهزة قياس التفريغ بناءً على مبادئ التشغيل الخاصة بهما: أحدهما هو مقياس فراغ السعة المعدنية، الذي يمثله النهج الفني لشركة MKS، والآخر هو مقياس فراغ السعة الخزفي، الذي يمثله النهج الفني لـ INFICON. بشكل عام، توفر مقاييس فراغ السعة المعدنية أداءً أفضل من نماذج السعة الخزفية، مما يجعلها مقبولة على نطاق أوسع.
يتكون عنصر الاستشعار في مقياس فراغ السعة المعدنية من هيكل سعوي يتكون من غشاء معدني يبلغ سمكه حوالي 40 ميكرومتر وقطب كهربائي من السيراميك. كما هو موضح في الأشكال أعلاه، يتم تمديد الحجاب الحاجز المعدني بقوة شد كبيرة قبل لحامه، مما يؤدي إلى إنشاء هيكل قادر على تحمل ضغوط الحمل الزائد حتى مئات أضعاف النطاق المقدر. عندما يتم تطبيق ضغط الفراغ على الحجاب الحاجز، فإنه يتشوه، مما يغير السعة بين قطب الحجاب الحاجز المعدني والقطب السيراميكي. من خلال قياس هذا التغير في السعة ومعايرته مقابل مراجع ضغط الفراغ القياسية، يمكن تحديد قيمة الفراغ المطلقة. لتحسين دقة القياس، يتم وضع المُحصل داخل التجويف.
قامت شركة Xi'an Mihui Technology Co., Ltd. بتطوير مقياس التفريغ VG750 بشكل مستقل، مما حقق أداءً مشابهًا لمنتجات MKS وINFICON. ويغطي نطاق قياس من 1 Torr إلى 1000 Torr وقد تم اعتماده على نطاق واسع في تطبيقات الدفعات داخل صناعات أشباه الموصلات والصناعات النووية. مواصفات أدائها مذكورة في الجدول أدناه. الأطراف المهتمة مدعوون للاتصال بنا للاستخدام التجريبي.
لمزيد من المعلومات، يرجى زيارة موقعنا على الانترنت:mihuitec.com، أو قم بزيارة صفحة المنتج: الصين VG750 مقياس غشاء السعة المعدنية المصنعين الموردين المصنع - عرض الأسعار - Mihui Tech.
