تستخدم أجهزة استشعار الضغط لقياس ضغط السوائل والغازات. تشتمل الأنواع الشائعة على مستشعرات الضغط المقاومة للتجويف المصنوعة من السيليكون MEMS، وأجهزة استشعار الضغط الرنانة المصنوعة من السيليكون MEMS، وأجهزة استشعار الضغط السعوي الخزفي، وأجهزة استشعار الضغط السعوي المعدني، وأجهزة استشعار الضغط ذات الأغشية الرقيقة -، وأجهزة استشعار ضغط مقياس الضغط المعدني. تختلف سيناريوهات التشغيل الخاصة بها وفقًا لمبدأ العمل.
MEMS السيليكون Piezoresistive الضغط الاستشعار:هذا هو النوع الأكثر استخدامًا من أجهزة استشعار الضغط. يغطي نطاق القياس الرئيسي الخاص بها 15 كيلو باسكال إلى 100 ميجا باسكال، مع دقة نموذجية تتراوح من 0.05% FS إلى 3% FS. يتراوح نطاق درجة حرارة التشغيل عادة بين -55 درجة إلى 180 درجة. ولأنه متوافق مع عمليات تصنيع أشباه الموصلات-الواسعة النطاق، فهو غير مكلف. لقياس السائل، يلزم وجود عبوة عزل مملوءة بالزيت.
مستشعر ضغط الرنين السيليكوني MEMS: يستخدم هذا المستشعر تصميمًا مبتكرًا يحول الضغط إلى تغيير في تردد الرنين لشعاع - صغير. ونظرًا لأن تردد الشعاع يعتمد فقط على بنيته ودرجة حرارته، ويستفيد من تأثيرات التصفية، فإن هذا المستشعر يحقق دقة إخراج عالية تصل إلى 0.01% FS. نطاق قياس الضغط الرئيسي يغطي 100 كيلو باسكال إلى 40 ميجا باسكال، مع نطاق درجة حرارة التشغيل من -55 درجة إلى 85 درجة. نظرًا للتصنيع المعقد والتكلفة العالية، فهو مناسب للتطبيقات التي تتطلب دقة عالية للغاية، مثل معالجة أشباه الموصلات وقياس عمق المحيط.
مستشعر الضغط بالسعة السيراميك:توفر مادة السيراميك مقاومة ممتازة للتآكل، مما يجعل هذا المستشعر مناسبًا لقياس الضغط في مخاليط الرمل. كما أنه يوفر مقاومة جيدة للتآكل، مما يتيح قياس السوائل المسببة للتآكل مثل حمض الكبريتيك. بالإضافة إلى ذلك، يمكن لمستشعرات الضغط المصنوعة من السيراميك أن تتحمل تجميد الماء-وهي ميزة لا يمكن تحقيقها باستخدام مستشعرات MEMS.
مستشعر الضغط بالسعة المعدنية:يستخدم هذا المستشعر غشاءًا معدنيًا كقطب كهربائي متحرك حساس للضغط، مما يشكل مكثفًا بقطب كهربائي ثابت. عندما يؤثر الضغط على الحجاب الحاجز، تتغير السعة بين الأقطاب الكهربائية، مما يؤدي إلى إنشاء علاقة بين الضغط والسعة. يمكن تصنيع الأغشية المعدنية من مواد مقاومة للتآكل مثل Inconel، ويمكنها قياس الضغوط المنخفضة جدًا (0–1/10/100/1000 Torr). وبالتالي، فإن لديها تطبيقات واسعة في قياس الفراغ وقياس الغازات المتخصصة في صناعة أشباه الموصلات.
متناثرTهين-فيلممستشعر الضغط ومقياس الضغط المعدني:يتميز كلا المستشعرين بوجود مادة حساسة للقوة-مغطاة بسطح معدني كبير، مما يجعل المنتج قويًا ومتينًا. إنها مناسبة لنطاقات الضغط العالي والتطبيقات التي تتطلب موثوقية عالية، مثل البضائع الصفراء، ومحركات الديزل، وآلات حفر الأنفاق. ليس من السهل تصنيع هذه المستشعرات إلى مستشعر ضغط مطلق ويمكنها عادةً تغطية نطاقات قصوى تصل إلى 200 ميجا باسكال أو أعلى. تُظهر الصورة الأولى أعلاه قلب مستشعر بغشاء رقيق متناثر-، بينما تُظهر الصورة الثانية قلبًا لقياس الضغط المعدني.
يجب أن يعتمد اختيار مستشعر الضغط على ظروف التشغيل الفعلية للاستفادة الكاملة من أدائه. تتخصص شركة Mihui Technology في أجهزة استشعار الضغط بناءً على مبادئ مختلفة، وتقدم إمكانات التصميم والإنتاج والتصنيع الكاملة لتزويد العملاء بالحلول الأكثر ملاءمة. مرحبا بكم في الاتصال بنا إذا كنت مهتما:رقم الهاتف: +8618066965135; البريد الإلكتروني: mihuitec@gmail.com
